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平板显示用光刻胶

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产品介绍操作工艺参数注意事项

1.特别说明:

具体型号说明书及相关检测报告请前往下载中心下载。

2.应用领域:

平板显示领域的具体应用包括：TN/STN-LCD的ITO电极制作；TP的ITO电极、Mo/Al/Mo Sensor制作；TFT-LCD/OLED的TFT背板制作等。

3. 技术参数:

平板显示用光刻胶主要技术参数：

平板显示用光刻胶系列主要包括：RD-PFR/PFS、RD-PTL500、RD-PTH800等系列，不同系列光刻胶的主要技术参数如下：

序号	产品序列	主要参数
1	RD-PFR/PFS系列	水分：<0.5%；颗粒(0.5um颗粒，个/ml)：<100；痕量金属(K、Na、Fe，ppb）：<500；膜厚：1.2~2.2um；分辨率：2um(g+h+i曝光)
2	RD-PTL500系列	水分：<0.5%；颗粒(0.5um颗粒，个/ml)：<100；痕量金属(K、Na、Fe，ppb）：<300；膜厚：1.4~2.2um分辨率：1.5um(g+h+i曝光)
3	RD-PTH800系列	水分：<0.5%；颗粒(0.5um颗粒，个/ml)：<100；痕量金属(K、Na、Fe，ppb）：<100；膜厚：1.4~2.2um；分辨率：1.5um(g+h+i曝光)

平板显示用光刻胶主要技术参数：

平板显示用光刻胶系列主要包括：RD-PFR/PFS、RD-PTL500、RD-PTH800等系列，不同系列光刻胶的主要技术参数如下：

序号	产品序列	主要参数
1	RD-PFR/PFS系列	水分：<0.5% 颗粒(0.5um颗粒，个/ml)：<100 痕量金属(K、Na、Fe，ppb）：<500 膜厚：1.2~2.2um 分辨率：2um(g+h+i曝光)
2	RD-PTL500系列	水分：<0.5% 颗粒(0.5um颗粒，个/ml)：<100 痕量金属(K、Na、Fe，ppb）：<300 膜厚：1.4~2.2um 分辨率：1.5um(g+h+i曝光)
3	RD-PTH800系列	水分：<0.5% 颗粒(0.5um颗粒，个/ml)：<100 痕量金属(K、Na、Fe，ppb）：<100 膜厚：1.4~2.2um 分辨率：1.5um(g+h+i曝光)

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